การทำความสะอาดเวเฟอร์คืออะไร? โทรศัพท์:+086-592-5803997
การทำความสะอาดแผ่นเวเฟอร์เป็นกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่สำคัญในการกำจัดอนุภาค สารอินทรีย์ และสิ่งปนเปื้อนที่เป็นโลหะออกจากเวเฟอร์ซิลิคอนโดยใช้อ่างเคมีแบบเปียก (เช่น RCA Clean,กัดปลาปิรันย่าด้วย H₂SO₄/H₂O₂), ตัวทำละลาย (อะซิโตน, เมทานอล), กรดไฮโดรฟลูออริก (HF) และวิธีขัดถูเชิงกลหรือเมกะโซนิก ตามด้วยการล้างน้ำบริสุทธิ์พิเศษ-และการทำให้แห้งด้วยไนโตรเจนเพื่อให้แน่ใจว่ามีพื้นผิวที่ปราศจากข้อบกพร่อง-สำหรับการผลิตไมโครชิป โดยมีกระบวนการที่พัฒนาจากการจุ่มเป็นชุดไปจนถึงการพ่นแผ่นเวเฟอร์เดี่ยว-เพื่อความแม่นยำ
ไฮโดรฟลูออโรอีเทอร์ HFE347การรวม ODP เป็นศูนย์, GWP ต่ำ, การไม่ติดไฟ- และไม่มีสารตกค้างเป็นศูนย์ กลายเป็นสิ่งใหม่ยอดนิยมของวิศวกร fab อย่างรวดเร็ว และปัจจุบันถือเป็นส่วนเสริมที่ทรงพลังและอัปเกรดเป็นวิธีการทั่วไป
กระบวนการทำความสะอาดเวเฟอร์ โทรศัพท์:+086-592-5803997
| ขั้นตอนการทำความสะอาดเวเฟอร์ | วัตถุประสงค์ |
|---|---|
| ก่อน-ทำความสะอาดการแพร่กระจาย | สร้างพื้นผิวที่ปราศจากสิ่งปนเปื้อนที่เป็นโลหะ อนุภาค และสารอินทรีย์ ในบางกรณี จำเป็นต้องกำจัดออกไซด์ดั้งเดิมหรือออกไซด์ทางเคมีออก |
| ทำความสะอาดการกำจัดไอออนโลหะ | กำจัดไอออนของโลหะซึ่งอาจส่งผลเสียต่อการทำงานของอุปกรณ์ |
| ทำความสะอาดการกำจัดอนุภาค | ขจัดอนุภาคออกจากพื้นผิวโดยใช้การขัดด้วยสารเคมีหรือเชิงกลโดยใช้การทำความสะอาด Megasonic |
| โพสต์ทำความสะอาด Etch | กำจัดโฟโตรีซิสต์และโพลีเมอร์ที่เหลือหลังจากกระบวนการกัดกรด กำจัดสารไวแสงและสารตกค้างที่เป็นของแข็ง รวมถึง "กัดโพลิเมอร์" |
| ทำความสะอาดการกำจัดฟิล์ม | การกัด/แถบซิลิคอนไนไตรด์ การกัด/แถบออกไซด์ การกัดด้วยซิลิคอน และการกัด/แถบโลหะ |
ขีดจำกัดของการทำความสะอาดแบบเดิมๆ และบทบาทเชิงกลยุทธ์ของ HFE โทรศัพท์:+086-592-5803997
กระบวนการทำความสะอาดแผ่นเวเฟอร์ RCA แบบคลาสสิกอาศัยสารละลายเคมีน้ำที่มีอุณหภูมิสูง-และมีความบริสุทธิ์สูง- (เช่น SC-1, SC-2) แม้ว่าจะสามารถกำจัดไอออน สิ่งปนเปื้อนที่เป็นโลหะ และอนุภาคได้อย่างดีเยี่ยม แต่กระบวนการนี้มีข้อจำกัดโดยธรรมชาติอยู่สองประการ:
ประสิทธิภาพจำกัดต่อสารปนเปื้อนอินทรีย์บางชนิด เช่น สารตกค้างจากตัวต้านทานแสง น้ำมันปั๊มสุญญากาศ จาระบีซิลิโคน และสารหล่อลื่นขั้นสูงจากส่วนประกอบที่มีความแม่นยำ
ความท้าทายในการทำให้แห้งด้วย "น้ำ": แรงตึงผิวที่สูงของน้ำก่อให้เกิดความเสี่ยงที่สำคัญในระหว่างขั้นตอนการทำให้แห้งขั้นสุดท้าย ซึ่งมักจะนำไปสู่การพังทลายของรูปแบบและลายน้ำที่ตกค้าง โดยเฉพาะในโครงสร้าง-อัตราส่วนภาพ-สูง
HFE 347 เป็นตัวทำละลายไฮโดรฟลูออโรอีเทอร์ขั้นสูง จัดการกับปัญหาเหล่านี้ได้โดยตรงผ่านคุณสมบัติทางเคมีกายภาพอันเป็นเอกลักษณ์ โดยวางตำแหน่งตัวเองให้เป็นสื่อในอุดมคติสำหรับ "การทำความสะอาดแบบแห้ง-อย่างแม่นยำ-ใน-การทำความสะอาดแบบเปียก"
ข้อมูลพื้นฐานของการทำความสะอาดเวเฟอร์ Hydrofluoroether HFE347
โทรศัพท์:+086-592-5803997
HFE (ไฮโดรฟลูออโรอีเทอร์) เป็นสารประกอบอินทรีย์ประเภทหนึ่งที่ประกอบด้วยไฮโดรเจน ฟลูออรีน คาร์บอน และออกซิเจน ผสมผสานพันธะอีเทอร์ (R-O-R') และโครงสร้างฟลูออโรอัลคิล ได้รับการออกแบบมาเพื่อรักษาประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยมของตัวทำละลายฟลูออริเนตพร้อมทั้งลดผลกระทบต่อสิ่งแวดล้อม (เช่น การสูญเสียชั้นโอโซนและภาวะโลกร้อนที่อาจเกิดขึ้น) HFE ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายเป็นสารทำความสะอาดที่มีความแม่นยำ สารหล่อเย็น ตัวพาตัวทำละลาย ฯลฯ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในสาขาอิเล็กทรอนิกส์ เซมิคอนดักเตอร์ และการบินและอวกาศ
|
ชื่อทางเคมี: |
1,1,2,2-เตตระฟลูออโรเอทิล 2,2,2-ไตรฟลูออโรเอทิล อีเทอร์ |
|
CAS: |
406-78-0 |
|
MF: |
C4H3F7O |
|
เมกะวัตต์: |
200.05 |
|
ไอเนคส์: |
609-858-6 |
|
คุณสมบัติทางเคมี |
|
|
จุดเดือด |
56.2 องศา |
|
ความหนาแน่น |
1.487 |
|
ดัชนีการหักเหของแสง |
1.276 |
|
ความถ่วงจำเพาะ |
1.487 |
|
การอ้างอิงฐานข้อมูล CAS |
406-78-0(อ้างอิงฐานข้อมูล CAS) |
|
ระบบทะเบียนสาร EPA |
HFE-347pcf2 (406-78-0) |
|
รายการทดสอบ |
ข้อมูลจำเพาะ |
|
รูปร่าง |
ของเหลวใสไม่มีสี |
|
ความบริสุทธิ์ |
มากกว่าหรือเท่ากับ 99.5% |
|
น้ำ |
น้อยกว่าหรือเท่ากับ 100 ppm |
การทำความสะอาดแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ HFE 347 Factory Tour โทรศัพท์:+086-592-5803997
ซัพพลายเออร์ทำความสะอาดเซมิคอนดักเตอร์ - ข้อมูลบริษัท โทรศัพท์:+086-592-5803997
Xiamen Juda Chemical & Equipment Co., Ltd. เป็นองค์กรเชิงกลยุทธ์ที่ลงทุนโดย Juhua Group - ซึ่งเป็นผู้นำในอุตสาหกรรมฟลูออโรเคมีของจีน - เพื่อก้าวไปสู่ภาคส่วน-วัสดุอิเล็กทรอนิกส์ระดับไฮเอนด์
ด้วยการสร้างจุดแข็งในห่วงโซ่อุตสาหกรรมของกลุ่มบริษัท ครอบคลุมตั้งแต่วัตถุดิบตั้งต้นฟลูออรีนพื้นฐานไปจนถึงฟลูออโรโพลีเมอร์ขั้นสูง และอาศัย-ความเชี่ยวชาญด้านเทคโนโลยีในระยะยาว Juda ตั้งเป้าที่จะเอาชนะอุปสรรคด้านอุปทานระหว่างประเทศและบรรลุ-ความพอเพียงในตนเองในด้านวัสดุอิเล็กทรอนิกส์หลัก บริษัทมีความเชี่ยวชาญในการนำเสนอโซลูชันที่ใช้-ฟลูออรีนประสิทธิภาพสูง-ที่จำเป็นสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ วงจรรวม และการใช้งานอิเล็กทรอนิกส์ที่ซับซ้อนอื่นๆ
ป้ายกำกับยอดนิยม: hydrofluoroether hfe347 ตัวทำละลายทำความสะอาดเวเฟอร์, ซัพพลายเออร์, ผู้ผลิต, โรงงาน, ใบเสนอราคา, ราคา, ซื้อ
