R32 ไดฟลูออโรมีเทนเป็นก๊าซกัดกร่อนแบบแห้งสำหรับ Si3N4

R32 ไดฟลูออโรมีเทนหรือที่รู้จักในชื่อ HFC-32 สูตรโมเลกุล: CH2F2 ซึ่งเป็นก๊าซกัดกร่อนแบบแอนไอโซโทรปิกสำหรับ Si3N4 แต่มีความสามารถในการคัดเลือก SiO2 และ Si ค่อนข้างต่ำ นอกจากจะเป็นตัวกัดหลักแล้ว ยังสามารถใช้เป็นก๊าซเสริมสำหรับตัวกัดหลักอื่นๆ เพื่อปรับอัตราส่วนฟลูออรีน/คาร์บอนอีกด้วย

 

R32 – ลักษณะสำคัญ:

1.ไม่ทำลายโอโซน

2. ปลอดสารพิษ

3.ก๊าซไฮโดรฟลูออโรคาร์บอน (HFC)

4.น้ำมัน: POE (น้ำมันโพลีโอเลสเตอร์)

ในยุคสมัยใหม่ของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งความแม่นยำและการย่อขนาดเป็นปัจจัยสำคัญ กระบวนการแกะสลักจึงมีบทบาทสำคัญ การแกะสลักเป็นเทคนิคที่ซับซ้อนที่ใช้ในการเลือกเอาชั้นของวัสดุออกจากเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ทำให้เกิดการสร้างรูปแบบวงจรที่ซับซ้อนได้

การกัดแบบแห้งคือการใช้แก๊สเพื่อกัดตัวกลาง วิธีการกัดแบบแห้งทั่วไป ได้แก่ การกัดทางกายภาพ (เช่น การกัดด้วยลำแสงไอออน) และการกัดด้วยไอสารเคมี (เช่น การกัดด้วยพลาสมา) ก๊าซถูกใช้เพื่อกระแทกพื้นผิวของพื้นผิวเพื่อเป็นรอยขีดข่วน และคุณลักษณะของมันคือความแม่นยำในการประมวลผลสูง

R32 ไดฟลูออโรมีเทนเป็นก๊าซกัดกร่อนแบบแห้งที่ใช้กันทั่วไป ซึ่งใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการกัดพลาสม่าในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ นอกจากนี้ยังเป็นสารหล่อเย็นที่มีศักยภาพในการทำลายโอโซนเป็นศูนย์ และใช้กันอย่างแพร่หลายในอุปกรณ์ทำความเย็น เช่น เครื่องปรับอากาศ ตู้เย็น และเครื่องปรับอากาศในรถยนต์ เมื่อเปรียบเทียบกับสารทำความเย็นแบบเดิม ก๊าซ R32 มีประสิทธิภาพในการทำความเย็นที่สูงกว่าและมีผลกระทบต่อสิ่งแวดล้อมน้อยกว่า

Xiamen Juda เป็นผู้ให้บริการชั้นนำด้านโซลูชันการกัดกรดและความเย็นในประเทศจีน โดยนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่หลากหลาย เช่น R32, C4F8, SF6, CF4 และก๊าซทำความเย็น Xiamen Juda ก่อตั้งขึ้นในปี 1988 โดย Juhua Group Corporation หนึ่งในผู้บุกเบิกการผลิตสารเคมีของจีน โดยอุทิศตนเพื่อการส่งออกสารเคมีฟลูออริเนตมาตั้งแต่ปี 2004 ทีมงานของเรามุ่งมั่นที่จะเป็นเลิศและนำเสนอโซลูชั่นก๊าซชั้นยอดเพื่อตอบสนองความต้องการของลูกค้าของเรา เรามีความภาคภูมิใจในชื่อเสียงอันยาวนานในด้านคุณภาพและความน่าเชื่อถือ ด้วย Xiamen Juda คุณสามารถวางใจได้ว่าคุณจะได้รับสิ่งที่ดีที่สุดในอุตสาหกรรม